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      新闻详情

      日本进口大塚的椭圆偏光测量仪FE-5000S(PXM28)

      日期:2022-04-16 14:41
      浏览次数:419
      摘要:使用环境 设置场所:屋内设置(避免太阳光直射) 周围环境:无倾斜,异常震动,灰尘,有害气体,温度变动, 电源变动,磁场噪音,不会接触液体,没有起火 物质。 高度界限:标准高度2000m 周围温度:20-30℃(无剧烈的温度变化) 相对湿度:30-80%(无结露) 噪 音:60dB以下(距离设备测量1m的距离测量)

      日本进口大塚的椭圆偏光量测仪FE-5000S(PXM28)

      显微分光膜厚仪




      对应多种膜的解析计算方法

      ● *小二乘法
      通过优良反射率测量和薄膜模拟的fitting,可解析目标膜的膜厚和
      光学常数(n:折射率,k:消光系数)。
      也可对应层叠结构


      ● *适合法
      在设定的膜厚范围内,进行薄膜模拟,可自动演算光谱形状*高
      膜厚值的手法。可对应多层level的层叠结构。


      ● 周期解析(FFT法)
      通过傅里叶变换计算光干涉的光谱波形的周期性,可自动演算膜厚的
      膜厚值。即便没有基板信息,也可解析,此外,还能对应多层level
      的层叠结构


      ● P(V 峰谷法)
      以光干涉法为原理的解析手法。通过输入单层膜的折射率,即便没
      基板信息,可以自动演算膜厚值。
      可在测量的反射率的峰值(谷值)在2个以上时使用。





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