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      产品详情
      • 产品名称:DGL XY 带洁净室盖的双导台

      • 产品型号:AUM4-S3
      • 产品厂商:其它品牌
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      简单介绍:
      设计特征 A.直接驱动无铁直线电机定位系统 B.运动和归航 C.洁净室盖 DGL XY双导轨带洁净室盖,由Akribis的标准CR盖DGL系列模子制造,具有很高的筛度和定位精度。适用于洁净室周围.
      详情介绍:

      设计特征

      A.直接驱动无铁直线电机定位系统
      B.运动和归航
      C.洁净室盖
       

      DGL XY双导轨带洁净室盖,由Akribis的标准CR盖DGL系列模子制造,具有很高的筛度和定位精度。适用于洁净室周围.

      Motor Configuration

      MODEL Axis Motor Effective Stroke (mm) Moving Mass (Kg) Total Mass (Kg) Sensor Position (mm) Hard Stopper Position (mm)
      DGL200 Top AUM4-S2 300 3.1 29 304 320
      AUM4-S3 300 3.4 29 304 320
      Bottom AUM4-S3 300 24.9 103 304 320
      AUM4-S4 300 26.1 103 304 320

      Note: That granite mass is approx.240Kg. 

       

      Performance Parameter

      Specification Parameter Unit DGCR 300 DGCRS 300
      1Straightness μm ±3μm/25mm, NTE±10μm/510mm ±3μm/25mm,NTE±10μm/610mm
      ±3μm/25mm, NTE±10μm/300mm ±3μm/25mm, NTE±10μm/300mm
      1Flatness ±3μm/25mm ±3μm/25mm,NTE±10μ
      NTE±10μm/300mm NTE±10μm/300mm
      Repeatability (1μm resolution) ±3μm (40μm scale pitch) ±3μm (40μm scale pitch)
      Repeatability (0.5μm resolution) ±1.5μm (20μm scale pitch) ±1.5μm (20μm scale pitch)
      Repeatability (0.1μm resolution) ±1μm (20μm scale pitch) ±1μm (20μm scale pitch)
      Repeatability (Analogue) ±5 counts ±5 counts
      X-Y Orthogonality Arc-sec 10 10

      Note: All measurement taken when module is mounted on a 5 micron flat granite table.



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